サワノ ヒロシ   SAWANO HIROSHI
  澤野 宏
   所属   明治大学  理工学部
   職種   専任教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2011/04
形態種別 学術雑誌
査読 査読あり
標題 On-Machine optical surface profile measuring system for nano-machining
執筆形態 共著(筆頭者)
掲載誌名 International Journal of Automation Technology
巻・号・頁 5(3),pp.369-376
著者・共著者 Hiroshi Sawano, Motohiro Takahashi, Hayato Yoshioka, Hidenori Shinno, Kimiyuki Mitsui