ワタナベ トモアキ
  渡辺 友亮
   所属   理工学部
   職種   専任教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2006
形態種別 学術雑誌
標題 Direct patterning of crystallized BaTiO3 and TiO2 films in aqueous solutions
執筆形態 共著(筆頭者)
掲載誌名 Thin Solid Films
巻・号・頁 515,pp.2696-2699
著者・共著者 Tomoaki WATANABE, Masahiro YOSHIMURA
概要 チタン酸バリウムはマイクロ電子デバイスの次世代誘電体として期待されているが、その薄膜合成やさらにはパターン化が必要である。本論文では溶液中で固液界面にレーザー光を照射することにより基板上に直接パターン化されたチタン酸バリウム薄膜が生成することを実証した。この成果は世界でも初めてのものと思われる。