Watanabe Tomoaki    Department   Undergraduate School  , School of Science and Technology    Position   Professor
Language	English
Publication Date	2006
Type	Academic Journal
Title	Direct patterning of crystallized BaTiO3 and TiO2 films in aqueous solutions
Contribution Type	Co-authored (first author)
Journal	Thin Solid Films
Volume, Issue, Page	515,pp.2696-2699
Author and coauthor	Tomoaki WATANABE, Masahiro YOSHIMURA
Details	チタン酸バリウムはマイクロ電子デバイスの次世代誘電体として期待されているが、その薄膜合成やさらにはパターン化が必要である。本論文では溶液中で固液界面にレーザー光を照射することにより基板上に直接パターン化されたチタン酸バリウム薄膜が生成することを実証した。この成果は世界でも初めてのものと思われる。