カツマタ　ヒロシ   KATSUMATA Hiroshi   勝俣　裕    所属   明治大学  理工学部    職種   専任准教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2001/09
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Evaluation of oxygen-plasma damage in GaAs exposed to a surface-wave plasma source developed for the ashing process
執筆形態	共著(筆頭者以外)
掲載誌名	Jpn. J. Appl. Phys.
巻・号・頁	40,pp.5438-5443
著者・共著者	K. Aoki, S. Uekusa, T. Yamauchi, and H. Katsumata