オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1997/03
形態種別	学術雑誌
標題	Thinning of SOI bonded wafers by applying voltage during KOH etvhing .-Improvement of thickness variation by reducing leakage
掲載誌名	American Insittute of Phisics American Institute of Physics
巻・号・頁	Vol.36,pp.pp.1519-1521
著者・共著者	A.Ogura
DOI	10.1143/JJAP.36.1519