オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1997/03
形態種別	学術雑誌
標題	Characterization of surface imperfection of a bonded silicon wafer by means of extremely asymmetric X-ray reflection topography
掲載誌名	The Institute of Pure and Applied physics Photon Factory Activity Report
巻・号・頁	Vol.13,pp.pp.305-
著者・共著者	S.Kimura,A.Ogura, T.Ishikawa