オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1998/03
形態種別	学術雑誌
標題	Precise Measurement of Strain in Thin Si film
掲載誌名	The Institute of Pure and Applied physics Jpn.J.Appl.Phys.
巻・号・頁	Vol.37,pp.pp.1282-1284
著者・共著者	Kimura,A.Ogura
DOI	10.1143/JJAP.37.1282