オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2000/07
標題	Microstructure of Cu Film Sputter-Deposited on TiN
掲載誌名	American Vacuum Society J.Vac.Sci.& Tech.A
巻・号・頁	Vol.18(6),pp.pp.2854-2857
著者・共著者	A.Furuya, Y.Ohsita, A.Ogura
DOI	10.1116/1.1310653