オグラ アツシ
Ogura Atusi
小椋 厚志
所属
明治大学 理工学部
職種
専任教授
言語種別
日本語
発行・発表の年月
2001
標題
ＳＯＩウェハーの評価技術
掲載誌名
電子情報技術産業協会 多層膜集積技術に関する調査報告書Ⅶ
著者・共著者
田島道夫, 井深重夫