オグラ アツシ   Ogura Atusi
  小椋 厚志
   所属   明治大学  理工学部
   職種   専任教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2001/03
形態種別 学術雑誌
標題 Evaluation of SOI Substrates by Positron Annihilation
掲載誌名 The Institute of Pure and Applied Phvsics Jpn.J.Appl.Phys.
巻・号・頁 Vol.40,pp.pp.2903-2906
著者・共著者 A.Uedono,A.Ogura, S.Tanigawa
DOI 10.1143/JJAP.40.2903