オグラ アツシ
Ogura Atusi
小椋 厚志 所属 明治大学 理工学部 職種 専任教授 |
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言語種別 | 英語 |
発行・発表の年月 | 2001/07 |
標題 | MOCVD precursors for Ta and Hf compound films |
掲載誌名 | Elsevier B.V. J.Cryst.Growth |
巻・号・頁 | vol.237-239,pp.pp.586-590 |
著者・共著者 | H.Machida, A.Hoshino, T.Suzuki, A.Ogura, Y.Oshita |
DOI | 10.1016/S0022-0248(01)01963-7 |