オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2001/07
標題	Depth profile of As and B implanted into Si-on-insulator substrates
掲載誌名	Elsevier B.V Thin Solid Films
巻・号・頁	Vol.397,pp.pp.56-62
著者・共著者	A.Ogura, M.Hiroi
DOI	10.1016/S0040-6090(01)01478-X