オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2001/10
形態種別	学術雑誌
標題	Formation of Buried Oxide Layer in Si Substrates by Oxygen precipitation at Imolantation Damage of Light Ions
掲載誌名	The Institute of Pure and Applied Physics Jpn.j.Appl.Phys.
巻・号・頁	Vol.40,pp.pp.L1075-1077
著者・共著者	A.Ogura
DOI	10.1143/JJAP.40.L1075