オグラ アツシ
Ogura Atusi
小椋 厚志 所属 明治大学 理工学部 職種 専任教授 |
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言語種別 | 日本語 |
発行・発表の年月 | 2009/09/08 |
標題 | 断面UV‐ラマン分光測定による高性能pMOSFETのチャネル歪評価 |
掲載誌名 | 応用物理学会学術講演会講演予稿集 |
巻・号・頁 | 70th(2),803頁 |
著者・共著者 | 赤松弘彬, 武井宗久, 小瀬村大亮, 永田晃基, 山川真弥, 黛哲, 黛哲, 若林整, 小椋厚志 |
PermalinkURL | http://jglobal.jst.go.jp/detail.php?from=API&JGLOBAL_ID=200902214367474523 |