オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2003/01
形態種別	国際会議議事録
査読	査読あり
標題	Vacancy-type defects in SOI wafers probed by a monoenergetic positron beam
掲載誌名	Proceedings of the Forum on the Science and Technology of Silicon Materials 2003, November 25-27 (2003) Kanagawa, Japan, p. 272-280.
巻・号・頁	pp.272-280.
著者・共著者	A., Uedono, A., Ogura, N., Hattori, J., Kudo, S., Nishikawa