オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2009/09/08
標題	ラマンピーク分離を用いたMOSFETの極微細(30nm‐200nm)チャネル歪測定
掲載誌名	応用物理学会学術講演会講演予稿集
巻・号・頁	70th(2),803頁
著者・共著者	武井宗久, 小瀬村大亮, 永田晃基, 赤松弘彬, 黛哲, 黛哲, 山川真弥, 若林整, 小椋厚志
PermalinkURL	http://jglobal.jst.go.jp/detail.php?from=API&JGLOBAL_ID=200902254158698580