オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2004/01
形態種別	学術雑誌
標題	先端デバイス開発におけるＳＯＩ基板への期待
掲載誌名	結晶成長学会誌