オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2010/03/03
標題	多結晶Si中の軽元素および析出物のミクロ分布
掲載誌名	応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)
巻・号・頁	57th,ROMBUNNO.18P-TG-2頁
著者・共著者	小野春彦, 加藤千尋, 石塚貴英, 新船幸二, 大下祥雄, 小椋厚志
PermalinkURL	http://jglobal.jst.go.jp/detail.php?from=API&JGLOBAL_ID=201002277098283212