オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2002/09/24
標題	せり上げ素子分離を用いたボディコンタクト構造をもつ薄膜SOI‐MOSFET
掲載誌名	応用物理学会学術講演会講演予稿集
巻・号・頁	63rd(2),801頁
著者・共著者	山上滋春, Kり昭, 若林整, LEE J‐W, 斎藤幸重, 小椋厚志, 成広充, 新井浩一, 最上徹
PermalinkURL	http://jglobal.jst.go.jp/detail.php?from=API&JGLOBAL_ID=200902161794977440