オグラ アツシ
Ogura Atusi
小椋 厚志 所属 明治大学 理工学部 職種 専任教授 |
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言語種別 | 日本語 |
発行・発表の年月 | 2010/12/01 |
標題 | GeSbTe composition in minute hole filled by chemical vapor deposition for phase change memory |
掲載誌名 | Advanced Metallization Conference (AMC) |
巻・号・頁 | 260-261頁 |
著者・共著者 | Hideaki Machida, Takafumi Horiike, Seiti Hamada, Tomohiro Uno, Naomi Sawamoto, Masato Ishikawa, Atsushi Ogura, Yoshio Ohshita |
ISSN | 1540-1766 |
PermalinkURL | https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=79957653480&origin=inward |