オグラ アツシ
Ogura Atusi
小椋 厚志 所属 明治大学 理工学部 職種 専任教授 |
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言語種別 | 英語 |
発行・発表の年月 | 2011 |
標題 | Verification of GeSbTe composition in the high aspect hole filled by Chemical Vapor Deposition |
掲載誌名 | Proc Symp Phse Chang Opt Inf Storage |
巻・号・頁 | 23rd,pp.64-68 |
著者・共著者 | MACHIDA Hideaki, HORIIKE Takafumi, HAMADA Seiti, UNO Tomohiro, SAWAMOTO Naomi, SUDA Kohei, ISHIKAWA Masato, SUDO Hiroshi, OHSHITA Yoshio, OGURA Atsushi |
PermalinkURL | http://jglobal.jst.go.jp/detail.php?from=API&JGLOBAL_ID=201202245518944223 |