オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2012/02/29
標題	強制汚染およびリンゲッタリングによる多結晶Si中の鉄およびニッケルの挙動
掲載誌名	応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)
巻・号・頁	59th,ROMBUNNO.17P-B10-14頁
著者・共著者	宮崎直人, 土屋佑樹, 鮫島崇, 立花福久, 小島拓人, 大下祥雄, 新船幸二, 小椋厚志
PermalinkURL	http://jglobal.jst.go.jp/detail.php?from=API&JGLOBAL_ID=201202249861711779