オグラ アツシ
Ogura Atusi
小椋 厚志 所属 明治大学 理工学部 職種 専任教授 |
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言語種別 | 日本語 |
発行・発表の年月 | 2013/08/31 |
標題 | XPSを用いたHfO2/SiおよびY2O3/Siアニール界面の構造解析 |
掲載誌名 | 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) |
巻・号・頁 | 74th,ROMBUNNO.19A-C7-7頁 |
著者・共著者 | 豊嶋祐樹, 谷脇将太, 堀田育志, 吉田晴彦, 新船幸二, 小椋厚志, 佐藤真一 |
PermalinkURL | http://jglobal.jst.go.jp/detail.php?from=API&JGLOBAL_ID=201302231584695630 |