オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2014/09/01
標題	ミストCVD法により製膜したAlOx膜のパッシベーション性能
掲載誌名	応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
巻・号・頁	75th,ROMBUNNO.19P-A25-12頁
著者・共著者	井口功嗣, 北野奨, 三木祥平, 小椋厚志, 吉田晴彦, 佐藤真一, 新船幸二
PermalinkURL	http://jglobal.jst.go.jp/detail.php?from=API&JGLOBAL_ID=201402218624458467