オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2014/09/01
標題	高温スパッタリング法におけるMoS2薄膜化と電気特性
掲載誌名	応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
巻・号・頁	75th,ROMBUNNO.18P-A16-14頁
著者・共著者	大橋匠, 山口晋平, 松浦賢太朗, 須田耕平, 石原聖也, 澤本直美, 角嶋邦之, 杉井信之, 西山彰, 片岡好則, 名取研二, 筒井一生, 岩井洋, 小椋厚志, 若林整
PermalinkURL	http://jglobal.jst.go.jp/public/201402276414683220