オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2003/03/27
標題	基板浮遊効果を抑制したゲート長60nm薄膜SOI‐MOSFET
掲載誌名	応用物理学関係連合講演会講演予稿集
巻・号・頁	50th(2),823頁
著者・共著者	山上滋春, KOH R, LEE J‐W, 若林整, 斎藤幸重, 小椋厚志, 新井浩一, 武村久, 最上徹
PermalinkURL	http://jglobal.jst.go.jp/detail.php?from=API&JGLOBAL_ID=200902203800789451