オグラ アツシ
Ogura Atusi
小椋 厚志 所属 明治大学 理工学部 職種 専任教授 |
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言語種別 | 日本語 |
発行・発表の年月 | 2015/08/31 |
標題 | 硫黄粉末アニールの減圧化によるスパッタMoS2薄膜の結晶性向上 |
掲載誌名 | 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) |
巻・号・頁 | 76th,ROMBUNNO.15P-1C-14頁 |
著者・共著者 | 松浦賢太朗, 大橋匠, 石原聖也, 澤本直美, 日比野祐介, 須田耕平, 角嶋邦之, 筒井一生, 小椋厚志, 若林整 |
PermalinkURL | http://jglobal.jst.go.jp/public/201502217933920770 |