オグラ アツシ   Ogura Atusi
  小椋 厚志
   所属   明治大学  理工学部
   職種   専任教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2015/08/31
標題 硫黄粉末アニールの減圧化によるスパッタMoS2薄膜の結晶性向上
掲載誌名 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
巻・号・頁 76th,ROMBUNNO.15P-1C-14頁
著者・共著者 松浦賢太朗, 大橋匠, 石原聖也, 澤本直美, 日比野祐介, 須田耕平, 角嶋邦之, 筒井一生, 小椋厚志, 若林整
PermalinkURL http://jglobal.jst.go.jp/public/201502217933920770