オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2016/03/03
標題	液浸ラマン分光法によるSi基板上歪Si:C薄膜に印加された応力評価
掲載誌名	応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
巻・号・頁	63rd,ROMBUNNO.20A-H112-9頁
著者・共著者	山本章太郎, 武内一真, 石原聖也, 小椋厚志
PermalinkURL	http://jglobal.jst.go.jp/public/201602210957464442