オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2016/03/03
標題	スパッタ堆積MoS2薄膜のXPSと光学コントラスト法による層数識別
掲載誌名	応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
巻・号・頁	63rd,ROMBUNNO.22A-S421-10頁
著者・共著者	石原聖也, 日比野祐介, 澤本直美, 須田耕平, 大橋匠, 松浦賢太郎, 町田英明, 石川真人, 須藤弘, 若林整, 小椋厚志
PermalinkURL	http://jglobal.jst.go.jp/public/201602217017971510