オグラ アツシ
Ogura Atusi
小椋 厚志 所属 明治大学 理工学部 職種 専任教授 |
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言語種別 | 日本語 |
発行・発表の年月 | 2016/06/22 |
標題 | TFT応用に向けたRFマグネトロンスパッタリング法によるMoS2膜の形成 |
掲載誌名 | 電子情報通信学会技術研究報告 |
巻・号・頁 | 116(118(SDM2016 32-47)),75‐78頁 |
著者・共著者 | 大橋匠, 松浦賢太朗, 石原聖也, 石原聖也, 日比野祐介, 澤本直美, 角嶋邦之, 筒井一生, 小椋厚志, 若林整 |
ISSN | 0913-5685 |
PermalinkURL | http://jglobal.jst.go.jp/public/201602234971269312 |