オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2016/09/01
標題	スパッタMoS2膜に対する有機硫黄化合物を用いた硫化アニール効果
掲載誌名	応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
巻・号・頁	77th,ROMBUNNO.14p‐A33‐10頁
著者・共著者	石原聖也, 石原聖也, 日比野祐介, 澤本直美, 大橋匠, 松浦賢太郎, 町田英明, 石川真人, 須藤弘, 若林整, 小椋厚志
PermalinkURL	http://jglobal.jst.go.jp/public/201602231863363275