オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2017/03/01
標題	スパッタ堆積MoS2薄膜の表面粗さスケーリング解析による配向性評価
掲載誌名	応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
巻・号・頁	64th,ROMBUNNO.16p‐F203‐2頁
著者・共著者	石原聖也, 石原聖也, 大野文太, 日比野祐介, 澤本直美, 大橋匠, 松浦賢太朗, 若林整, 小椋厚志
PermalinkURL	http://jglobal.jst.go.jp/public/201702238861886054