オグラ アツシ   Ogura Atusi
  小椋 厚志
   所属   明治大学  理工学部
   職種   専任教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2017/03/01
標題 新規モリブデン原料i‐Pr2DADMo(CO)3を用いたMoS2のMOCVD
掲載誌名 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
巻・号・頁 64th,ROMBUNNO.15a‐F203‐6頁
著者・共著者 石原聖也, 石原聖也, 日比野祐介, 澤本直美, 町田英明, 大下祥雄, 若林整, 小椋厚志
PermalinkURL http://jglobal.jst.go.jp/public/201702272807873748