オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2017/08/25
標題	スパッタ堆積MoS2膜の下地材料依存性
掲載誌名	応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
巻・号・頁	78th,ROMBUNNO.7p‐C11‐5頁
著者・共著者	大橋匠, 宗田伊理也, 石原聖也, 石原聖也, 日比野祐介, 角嶋邦之, 筒井一生, 小椋厚志, 若林整
PermalinkURL	http://jglobal.jst.go.jp/public/201702224422824394