オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2017/08/25
標題	DCバイアス印加による高温スパッタMoS2膜の硫黄欠損抑制
掲載誌名	応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
巻・号・頁	78th,ROMBUNNO.6a‐C16‐6頁
著者・共著者	石原聖也, 石原聖也, 日比野祐介, 澤本直美, 大橋匠, 松浦賢太朗, 若林整, 小椋厚志
PermalinkURL	http://jglobal.jst.go.jp/public/201702225178361016