オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2018/03/05
標題	Migration制御したスパッタリング法による2次元層状MoS2成膜
掲載誌名	応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
巻・号・頁	65th,ROMBUNNO.20a‐C202‐5頁
著者・共著者	大橋匠, 坂本拓朗, 松浦賢太朗, 清水淳一, 外山真矢人, 石原聖也, 石原聖也, 日比野祐介, 宗田伊理也, 角嶋邦之, 筒井一生, 小椋厚志, 若林整
PermalinkURL	http://jglobal.jst.go.jp/public/201802269050247673