オグラ アツシ
Ogura Atusi
小椋 厚志 所属 明治大学 理工学部 職種 専任教授 |
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言語種別 | 英語 |
発行・発表の年月 | 1984 |
形態種別 | 学術雑誌 |
標題 | LOW-TEMPERATURE REDISTRIBUTION OF AS IN SI DURING NI SILICIDE FORMATION |
掲載誌名 | JOURNAL OF APPLIED PHYSICS |
出版社・発行元 | AMER INST PHYSICS |
巻・号・頁 | 56(10),pp.2725-2728 |
著者・共著者 | OHDOMARI, I, M AKIYAMA, T MAEDA, M HORI, C TAKEBAYASHI, A OGURA, T CHIKYO, KIMURA, I, K YONEDA, KN TU |
DOI | 10.1063/1.333801 |
ISSN | 0021-8979 |