オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1985
形態種別	学術雑誌
標題	MINIMIZATION OF RESIDUAL-STRESS IN SOI FILMS BY USING AIN INTERLAID INSULATOR
掲載誌名	JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS & EXPRESS LETTERS
出版社・発行元	JAPAN SOC APPLIED PHYSICS
巻・号・頁	24(8),pp.L669-L671
著者・共著者	A OGURA, K EGAMI, M KIMURA
ISSN	0021-4922