オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1986/01
形態種別	学術雑誌
標題	LOW-TEMPERATURE GRAIN-GROWTH OF INITIALLY (100) TEXTURED POLYCRYSTALLINE SILICON FILMS AMORPHIZED BY SILICON ION-IMPLANTATION WITH NORMAL INCIDENT ANGLE
掲載誌名	JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
出版社・発行元	AMER INST PHYSICS
巻・号・頁	59(1),pp.289-291
著者・共著者	K EGAMI, A OGURA, M KIMURA
DOI	10.1063/1.336831
ISSN	0021-8979