オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1990
形態種別	学術雑誌
標題	Si/SiO_2_ Interface Structures in SOI and Thermally Oxidized Si
掲載誌名	ElsevierB.V Solid State Electronics
巻・号・頁	Vol.33,pp.pp.275-280
著者・共著者	A.Ogura, N.Aizaki