|
ヨコガワ リョウ
YOKOGAWA RYO
横川 凌 所属 明治大学 理工学部 職種 助教 |
|
| 言語種別 | 英語 |
| 発行・発表の年月 | 2020/12 |
| 形態種別 | 学術雑誌 |
| 査読 | 査読あり |
| 標題 | Strain evaluation in Ge and Sn implanted Si layers with laser and rapid thermal annealing |
| 執筆形態 | 共著(筆頭者以外) |
| 掲載誌名 | Materials Science in Semiconductor Processing |
| 掲載区分 | 国外 |
| 巻・号・頁 | 120,pp.105282-105282 |
| 著者・共著者 | Shota Komago, Ryo Yokogawa, Kazutoshi Yoshioka, John O. Borland, Takashi Kuroi, Yoji Kawasaki, Atsushi Ogura |