カツマタ　ヒロシ   KATSUMATA Hiroshi   勝俣　裕    所属   明治大学  理工学部    職種   専任准教授
取得国	国内
知的財産権の種類	特許権
出願国	国内
特許番号	特許4745273
取得年月日	2011/05/20
特許名	半導体装置の製造方法、半導体製造装置及び半導体装置