カツマタ ヒロシ   KATSUMATA Hiroshi
  勝俣 裕
   所属   明治大学  理工学部
   職種   専任准教授
発表年月日 2012/09/13
発表テーマ 複合ターゲットを用いて 反応性スパッタ法により作製した AlN:Eu,Si薄膜の発光、構造的特性の評価
会議名 2012年秋季第73回応用物理学会学術講演会
主催者 応用物理学会
発表形式 口頭(一般)
単独共同区分 共同
発表者・共同発表者 鍵政亮介、梶原舜、吉村啓佑、勝俣裕