カツマタ ヒロシ   KATSUMATA Hiroshi
  勝俣 裕
   所属   明治大学  理工学部
   職種   専任准教授
発表年月日 2011/09/01
発表テーマ TaN薄膜の電気抵抗値に及ぼすフラッシュランプ熱処理の影響
会議名 2011年秋季第72回応用物理学会学術講演会
主催者 社団法人 応用物理学会
発表形式 口頭(一般)
単独共同区分 共同
発表者・共同発表者 田島 裕章、勝俣 裕、平田 雄也、植草 新一郎