カツマタ ヒロシ   KATSUMATA Hiroshi
  勝俣 裕
   所属   明治大学  理工学部
   職種   専任准教授
発表年月日 2010/09/14
発表テーマ 反応性スパッタリング法で作製した窒化タンタル薄膜の諸性質
会議名 2010年秋季第71回応用物理学会学術講演会
主催者 社団法人 応用物理学会
発表形式 口頭(一般)
単独共同区分 共同
発表者・共同発表者 田島裕章,勝俣 裕,植草新一郎