カツマタ ヒロシ   KATSUMATA Hiroshi
  勝俣 裕
   所属   明治大学  理工学部
   職種   専任准教授
発表年月日 2014/09/19
発表テーマ 反応性RFスパッタ法によるZn3N2薄膜の形成におけるGa2O3添加の影響
会議名 第75回応用物理学会秋季学術講演会(19p-A26-19)
学会区分 全国学会
発表形式 口頭(一般)
単独共同区分 共同
開催地名 北海道大学
発表者・共同発表者 岩田純一,平野祐,佐瀬宏樹,勝俣裕