カツマタ ヒロシ   KATSUMATA Hiroshi
  勝俣 裕
   所属   明治大学  理工学部
   職種   専任准教授
発表年月日 2015/03/13
発表テーマ 共スパッタリング法によるアモルファスSi/β-FeSi2複合薄膜の形成
会議名 第62回応用物理学会春季学術講演会(13a-A25-9)
学会区分 全国学会
発表形式 口頭(一般)
単独共同区分 共同
開催地名 東海大学
発表者・共同発表者 澤田 真志, 中沢 公大, 勝俣 裕