ツツミ　トシユキ   Tsutsumi Toshiyuki   堤　利幸    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	1998/09
発表テーマ	poly -Si膜の側壁酸化を用いた極細線マスクの作成技術
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	◎堤利幸(助手) , 石井賢一 , 金丸正剛 , 前田辰郎 , 鈴木英一 , 冨澤一隆