オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	2001/10
発表テーマ	"HfO_2_ and Hf_1-x_Si_x_O_2_ deposition by MOCVD using TDEAH
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	国際会議　　Advanced Matallization Conference 2001 M.Isikawa, H.Machida, A.Ogura and Y.Oshita