オグラ アツシ   Ogura Atusi
  小椋 厚志
   所属   明治大学  理工学部
   職種   専任教授
発表年月日 2001/03
発表テーマ MOCVD法によるHfO_2_膜の堆積(Ⅱ)
発表形式 口頭(一般)
発表者・共同発表者 星野、鈴木、町田、忍田、小椋、大下